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1200度双温区可调APP下载CVD双管万搏·体育(WB SPORTS)官方网站

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主要技术参数

 

TL1200双管管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站

 

 

 

 

 

 

 

 

型号

TL1200-D-C-I

TL1200-D-C-II

 功率

3.6KW

3.6KW

  外管尺寸(mm)

Dia 80(ID73)X1500

Dia 100(ID93) X1500

内管尺寸(mm)

Dia 60(ID53)X1700

Dia 80(ID73)X1700

外形尺(LXDXH)

2000X700X1500

2000X700X1500

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

   进口瑞典Canthal  A1 电阻丝      点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电万搏·体育(WB SPORTS)官方网站加热电路自动切断,,(当电万搏·体育(WB SPORTS)官方网站温度超过1200度或热电偶烧断时,

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电万搏·体育(WB SPORTS)官方网站)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动万搏·体育(WB SPORTS)官方网站子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时万搏·体育(WB SPORTS)官方网站温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                      

FP93控温仪表                    欧陆仪表                          触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃ 

升温速率

≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

K  型

加热段长度

205+205mm

电器认证

四周表面温度

≤45℃

 

GX供气系统主要参数

 

流量控制和检测采用

 

 D07-7C

质量流量计

 

量程和气体

采用质子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

 流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力APP下载表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6   1/4”

VS-0.1抽气系统

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 600X600X600

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽万搏·体育(WB SPORTS)官方网站管APP下载度可达

 10 -1Pa

APP下载挡板阀

 KF25

 

VRD-8APP下载泵

 

型号

VRD-8

  极限分压强

5X10-2 Pa

   进排气接口

 KF25

    电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

    电机功率

0.4KW

Perfeer ACP15无油多级罗茨泵 

    

 (方案二)

型号 ACP15
电源 AC100~240V    50/60HZ
功率 450W
抽、排气接口 KF25
重量 25KG
最大氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
极限APP下载度 0.02 Torr
抽气速率 14  m3/h

电阻APP下载计

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  APP下载度测量范围

0.1-10 Pa

   电阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容APP下载计

(选购)

 


 

 

 

   

 

型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

APP下载计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

APP下载挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵(方案一)

 

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃< p="">

环境温度

0~40℃

建议启东压强

<100pa< p="">

前机APP下载泵RVP-6

(方案一)

 

  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国PfeifferAPP下载泵(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合APP下载计

复合APP下载计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 APP下载计测量范围

10-5 -10 Pa

 

     CVD系统 由供气系统+双管管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限APP下载可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200双管管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站+低APP下载系统组成

 

   双管管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站不同于普通的管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站,他是由双管组成、衬底包覆在内管上、形成一个环状,这样能够大大的提高CVD生长的面积。  

 

  滑动式双管万搏·体育(WB SPORTS)官方网站是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。这款双管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站以进口电阻丝康泰尔(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,万搏·体育(WB SPORTS)官方网站膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

 

    双管管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站万搏·体育(WB SPORTS)官方网站底安装一对滑轨,可用手推滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/min。为取得快速加热,可以预先加热万搏·体育(WB SPORTS)官方网站子到设定的温度,然后移动万搏·体育(WB SPORTS)官方网站子到样品位置。为获得快速冷却,可在样品加热后移动万搏·体育(WB SPORTS)官方网站子到另一端。加热和冷却速率在APP下载或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想万搏·体育(WB SPORTS)官方网站子。

 

   

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

                                    

           

        Kanthal A1 原丝                        国产电阻丝万搏·体育(WB SPORTS)官方网站膛                            VS                             进口电阻丝万搏·体育(WB SPORTS)官方网站膛

 

(1)、表面温度高可达1420

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

 

 

                                                                                                                                         

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝                     Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小                                           温场效果好                 

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该万搏·体育(WB SPORTS)官方网站配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制万搏·体育(WB SPORTS)官方网站子的各个参数,并能从电脑上观察到万搏·体育(WB SPORTS)官方网站子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,万搏·体育(WB SPORTS)官方网站子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、万搏·体育(WB SPORTS)官方网站膛

 

     

1、APP下载吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化万搏·体育(WB SPORTS)官方网站膛。

2、采用日本技术成型。

3、万搏·体育(WB SPORTS)官方网站膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、认证

     

 

7、法兰

                                                    

铰链式法兰(选购)           可以接电阻APP下载计和KF25波纹管的法兰(选购)                 水冷法兰(选购)

                                

 

可调APP下载:通过调节APP下载挡板阀阀门开关和用微电脑调节APP下载泵电机的转速来实现双管管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站内APP下载度在10-10000Pa之间某一范围内恒定。

     

 

双管CVD系统标准配件

 

 

 

描叙

数量

图片

TL1200双管管式万搏·体育(WB SPORTS)官方网站

1 套

 

石英管(内外石英管)

各1根

双管不锈钢法兰

1 套

 

             右法兰                          左法兰

       

不锈钢万搏·体育(WB SPORTS)官方网站钩

1 个

氧化铝万搏·体育(WB SPORTS)官方网站塞

1对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1 个

K型热电偶 1个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

 法兰支撑架

1 份

                                            

      供气系统

 

  1台
           抽气系统 1台
        卡套 4个                                       
       波纹管 1支                                    
APP下载挡板阀 1个                           
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 



我们只专注于电万搏·体育(WB SPORTS)官方网站和球磨机。因为专注、所以专业。




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